Зведений каталог бібліотек Харкова
621.38И75Ионычева, Л. С. Процессы травления в микроэлектронике [Текст] : метод. указания к лаб. работе / Л.С. Ионычева, О.П. Сивопляс. — Х. : ХАИ, 1986. — 15 с.
- Теми документа