Зведений каталог бібліотек Харкова
Толстенок, О. А. Влияние режимов окисления и отжига на дефектность кремния в структурах с диэлектрической изоляцией. [Текст] / О.А. Толстенок, Т.А. Холомина // Известия вузов. Материалы электронной техники. 2 , 2003. — С. 32-34.
- Анотація:
Исследована дефектность поверхности кремния после окисления и отжига.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2003.
- Теми документа
