| | Копейкин, А. Н. Механизм влагочувствительности адсорбционно-емкостных сенсоров влажности на основе сорбционных пленок в системе SiO2 - Al2O3 [Текст] / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) // Известия вузов. Электроника. — 2003. — C. 36-42. |
| | |
|