Зведений каталог бібліотек Харкова
Андреев, С. В. Автоматизация фотометрического контроля толщины осаждаемых слоев. [Текст] / Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет). // Известия вузов. Электроника. — 2003. — С. 85-90.
- Анотація:
Для автоматического контроля осаждения слоев разработана схема контроля с использованием двух источников излучения и двух пар фотоприемников.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2003.
- Теми документа
