Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Костюк, Г. И.
    Исследование влияния места размещения детали на плоской подложке на плотность тока при различных углах падения ионов для плазменно-ионной обработки [Текст] / Г.И. Костюк, С.А. Романенко, Н.Л. Белов, В.И. Решетников // Авіаційно-космічна техніка і технологія : наук.- техн. журн. / М-во освіти і науки України, Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т". — Х. : Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т", 2003. — С.168-173.


- Анотація:

В статье приведены результаты исследования влияния места размещения детали на плоской подложке на плотность тока при разных углах падения ионов для плазменно-ионной обработки при разных токах дуги, напряжении на подложке, давлении реакционного газа, токе в управляющем магните.

- Електронні версії документа:

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Праці співробітників ХАІ // Костюк Г.І./Костюк Г.И./Kostiouk G.I.
  • Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт