В предлагаемом обзоре анализируется современное состояние и перспективы использования алмазов в микро - и наноэлектронике.Подробно обсуждаются кремниевые нанотранзисторы, алмазные активные элементы, теплоотводы и элементы микроэлектромеханических систем.
