| | Ефремов, А. А. Компьютерное моделирование преципитации SiO2 в кремнии, выращенном методом Чохральского и легированном азотом [Текст] / Инстиут физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2003. — С. 44-48. |
| | |
|