Зведений каталог бібліотек Харкова
Вяткин, А. Ф. Материаловедческие и технологические аспекты получения макропористого кремния [Текст] / Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2003. — С. 58-61.
- Анотація:
Рассмотрена модель зарождения макропор, базирующаяся на предположении об инициирующей роли легирующих атомов на процесс зарождения пор.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2003.
- Теми документа
