Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Костюк, Г. И.
    Исследование распределения плотности ионного тока в рабочем объеме технологической плазменно-ионной установки при различных режимах очистки, азотирования, ионной имплантации и ионного легирования [Текст] / Г.И. Костюк, В.И. Решетников, Е.Г. Костюк // Авіаційно-космічна техніка і технологія : наук.- техн. журн. / М-во освіти і науки України, Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т". — Х. : Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т", 2003. — С. 46-52.


- Анотація:

Приведены результаты экспериментального исследования распределения плотности ионного тока в рабочем объеме технологической плазменно=ионной установки при различных расстояниях до испарителя, от тока фокусирующего магнита, от напряжения на подложке, от давления азота, от тока дуги при работе одного и двух испарителей в режиме очистки, интенсивного ионного азотирования, ионной имплантации и ионного легирования.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • Праці співробітників ХАІ // Костюк Г.І./Костюк Г.И./Kostiouk G.I.
  • Праці співробітників ХАІ // Праці співробітників ХАІ/Труды сотрудников ХАИ



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт