| | Невлюдов, И. Ш. Моделирование процесса автоматизированного контроля формообразования полупроводниковой пластины [Текст] / И.Ш. Невлюдов, Н.Г. Стародубцев // Авіаційно-космічна техніка і технологія : наук.- техн. журн. / М-во освіти і науки України, Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т". — Х. : Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т", 2003. — С. 102-107. |
| | |
|