|
Автор: Кузнецов Г.Д., Сушков В.П., Кушхов А.Р., Симакин С.Б., Делян В.И.
-
Анотація:
Дан обзор результатов работ по"сухому" травлению нитридов 111 группы применительно к созданию приборов на основе структур AlGalnN.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
УДК // Технологія механічної обробки в цілому: процеси, інструменти, машини та обладнання
|
