|
Автор: Светлов С.П., Чалков В.Ю., Шенгуров В.Г., Гавриленко В.И., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Красильник З.Ф.
-
Анотація:
Обсуждена возможность выращивания методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии в среде германа многослойных эпитаксиальных структур, содержащих селективно легированные слои твердого раствора кремний-германий с резкими границами раздела.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
-
УДК // Провідники та напівпровідники залежно від матеріалу виготовлення
|
