Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Невлюдов, И. Ш.
    Контроль толщины полупроводниковых пластин в процессе производства [Текст] / И.Ш. Невлюдов, Н.Г. Стародубцев // Авіаційно-космічна техніка і технологія : наук.- техн. журн. / М-во освіти і науки України, Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т". — Х. : Нац. аерокосм. ун-т ім. М. Є. Жуковського "Харк. авіац. ін-т", 2003. — С. 112-116.


- Анотація:

Предложен метод контроля толщины полупроводниковой пластины в процессе производства, позволяющий повысить производительность и качество изделий.

- Є складовою частиною документа:

Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт