Опис документа

Зведений каталог бібліотек Харкова

Опис документа

Кирюшина, И. В.
Процессы очистки кремниевых пластин в модифицированных аммиачно- и соляно-перекисных растворах. [Текст] / ОАО "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (г.Москва). // Известия вузов. Электроника. — 2004. — С. 53-59.

Автор: Кирюшина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С.

- Анотація:

Проведено исследование процессов жидкостной химической подготовки пластин в растворах с традиционной рецептурой компонентов (NH4OH: H2O2: H2O=1:1:6; HCl:H2O2:H2O=1:1:6) и модифицированной рецептурой компонентов ( NH4OH: H2O2: H2O=1:1:20; HCl:H2O2:H2O=1:1:20) в технологическом маршруте изготовления СБИС.

- Є складовою частиною документа:

Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.

- Теми документа

УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми

Наявність

Установа Кількість Документ на сайті установи

Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського Перейти на сайт