Зведений каталог бібліотек Харкова
Толстенок, О. А. Анизотропное травление кремниевых пластин при изготовлении тензопреобразователей. [Текст] / Рязанская государственная радиотехническая академия // Известия вузов. Электроника. — 2004. — С. 60-63.
- Анотація:
Представлены результаты изучения возможности формирования упругих элементов тензопреобразователей на структурах кремний - на - изоляторе в технологии изготовления интегральных схем при помощи анизотропного травления кремния.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.
- Теми документа
