Зведений каталог бібліотек Харкова
Скупов, В. Д. Технологии управления качеством микромеханических структур [Текст] / В.Д. Скупов, В.К. Смолин // Конверсия в машиностроении. — 2004. — С. 62-64.
- Анотація:
Рассмотрены вопросы, связанные со структурной модификацией пластин монокристаллического кремния с целью снижения их дефектности и, соответственно, повышения качества изготовляемых устройств.
- Є складовою частиною документа:
Конверсия в машиностроении [Текст] // Конверсия в машиностроении - М. : Информконверсия. — 2004.
