|
Автор: Кирюшкина И.В., Красавина Л.З., Просий А.Д., Селиванова И.Н., Яснов В.С.
-
Анотація:
Проведенно исследование скорости травления , уровня привносимой дефектности процесса и накопления ионных примесей в водных травителях на основе разбавленных растворов HF при травлении БФСС и SiO2 в режиме рециркуляционной фильтрации.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
| 