Рассмотрены перспективы развития процессов формирования функциональных слоев в планарной нанотехнологии, в частности, совершенствование традиционных методов по пути "сверху-вниз" и разработка новых методов на основе синтеза функциональных слоев из атомов, молекули и их ансамблей по пути "снизу-вверх".
