Зведений каталог бібліотек Харкова
Сидоров, Ю. Г. Развитие нанотехнологий и их применение для разработки устройств полупроводниковой электроники [Текст] / Ю.Г. Сидоров, А.И. Торопов, В.В. Шашкин та ін. // Автометрия : научно-технический журнал / РАН, Сиб. отд-ние; Ин-т автоматики и телеметрии. — С. 4-19.
Автор: Сидоров Ю.Г., Торопов А.И., Шашкин В.В., Овсюк В.Н., Гайслер В.А.
- Анотація:
Представлен краткий обзор результатов развития технологии молекулярно-лучевой эпитаксии и технологии создания структур кремний-на изоляторе применительно к разработке нового поколения фотоприемных устройств ИК-диапазона, лазеров с вертикальным резонатором, транзисторов и фотоприемников на квантовых точках, квантовых электронных интерферометров и нанотранзисторов.
- Є складовою частиною документа:
Автометрия [Текст] : научно-технический журнал / РАН, Сиб. отд-ние; Ин-т автоматики и телеметрии. — Новосибирск : Изд-во СО РАН.
- Теми документа
