Зведений каталог бібліотек Харкова
Новиков, Ю. А. Определение зависимости диаметра электронного зонда РЭМ от тока пучка [Текст] / Ю.А. Новиков, А.В. Раков, М.Н. Филиппов // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 13-15.
- Анотація:
Разработан метод измерения зависимости диаметра электронного зонда d растрового электронного микроскопа (РЭМ) от тока пучка j.
- Є складовою частиною документа:
Измерительная техника [Текст] : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — М.
- Теми документа
