Зведений каталог бібліотек Харкова
Еремеев, А. В. Геттерирование примесей в кремнии [Текст] / А.В. Еремеев, В.Л. Крюков, Г.Д. Кузнецов та ін. // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2004. — С. 66-69.
Автор: Еремеев А.В., Крюков В.Л., Кузнецов Г.Д., Титивкин К.А., Фурманов Г.П.
- Анотація:
Рассмотрены различные варианты процесса геттерирования примесей в кремнии, виды геттеров и атмосфер в технологической системе
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2004.
- Теми документа
