Зведений каталог бібліотек Харкова
Киреев, В. Ю. Влияние аспективного отношения и площади вскрытия на параметры реактивного ионно-плазменного травления структур в монокремнии. [Текст] / НИИ системных исследований РАН (г.Москва) // Известия вузов. Электроника. — 2004. — С. 28-35.
- Анотація:
Исследован процесс реактивного ионно-плазменного травления монокремния в газовой смеси HBr/SF6/He:О2. Получены зависимости скорости и равномерности травления монокремния от площади его вскрытия фоторезистивной маске.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.
