| | Толстенок, О. А. Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков [Текст] / О.А. Толстенок, Т.А. Холомина // Измерительная техника : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 66-70. |
| | |
|