Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Толстенок, О. А.
    Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков [Текст] / О.А. Толстенок, Т.А. Холомина // Измерительная техника  : научно-технический журнал / Госком РФ по стандартизации и метрологии. — С. 66-70.


- Анотація:

Рассмотрены физико-технологические особенности производства микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков. Обсуждается оптимальный вариант конструкции тензопреобразователя.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Неорганічна хімія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт