Приведены результаты определения состава покрытия сверхстехиометрического TiN, полученного при реакционном осаждении в магнетронной распылительной системе. Разработаны опытные технологические прооцессы, показана кратковременная надежная работоспособность покрытия TiN на коррозионностойких сплавах при высокой температуре в режиме скольжения.

Проблемы машиностроения и надежности машин [Текст] / РАН. — М. : Наука.

• УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація