Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Неволин, В. Н.
    Моделирование ионно-имплантационной обработки материалов [Текст] / В.Н. Неволин, А.Г. Гнедовец, В.Ю. Форминский та ін. // Вестник Московского государственного технического университета им. Н.Э. Баумана.Сер. Приборостроение : научно-теоретический и прикладной журнал. — 1998. — 4 : Специальный выпуск "Радиоэлектроника". — С. 28-38.


Автор: Неволин В.Н., Гнедовец А.Г., Форминский В.Ю., Кошманов В.Е., Шарфф В.

- Анотація:

Методом "частиц в ячейках" (PIC) проведено моделирование разлета импульсной лазерной плазмы в интенсивном внешнем электрическом поле, используемом для ускорения ионов при имплантационной обработке материалов. Исследована динамика ионной и электрической компоненты, а также особенности распределения потенциала при подключении к обрабатываемой детали отрицательных высоковольтных импульсов различной формы.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт