|
Автор: Ананьин П.С., Баинов Д.Д., Косицын Л.Г., Кривобоков В.П., Легостаев В.Н., Юдаков С.В.
-
Анотація:
Описана лабораторная установка для нанесения покрытий на поверхность твердых тел с помощью плазмы магнетронного разряда и ионных пучков. Приведены ее основные технические характеристики и функциональные возможности.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електричний струм. Електрокінетика
-
УДК // Промисловість високомолекулярних речовин. Виробництво гуми. Виробництво пластмас
| 