|
Автор: Беришвили З.В., Джангидзе Л.В., Схиладзе Г.Б., Мелкадзе Р.Г., Лежнева Т.М., Перадзе Г.Г.
-
Анотація:
При изготовлении гибрибных пиксельных детекторов ионизирующего излучения соединение сенсорной матрицы со считывающим устроцйством осуществляется с помощью столбиковых выводов по флипчип-технологии. Разработан и исследован процесс формирования столбиковых выводов из Pb/Sn и In на сенсорных GaAs-матрицах. Приведены технологические режимы, последовательность операции и параметры полученных столбиков.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
|
