Разработаны тестовая схема и алгоритмы расчета для определения систематических и случайных погрешностейконструктивных параметров тонкопленочного резистора. Проведена эксперименатальная оценка этих погрешностей. Приведены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.