Зведений каталог бібліотек Харкова
Осипов, А. В. Исследование твердости многослойных пленочных структур титан-гидрогенизированный аморфный углерод микро- и наноиндентированием [Текст] / А.В. Осипов, Ю.В. Панфилов, М.И. Петржик та ін. // Справочник. Инженерный журнал. — 2004. — С. 14-19.
Автор: Осипов А.В., Панфилов Ю.В., Петржик М.И., Штанский Д.В., Левашов Е.А.
- Анотація:
Представлены экспериментальные результаты измерения твердости тонкопленочных структур, сформированных на подложке из кремния и инструментальной стали Р6М5 методами ионно-лучевого и ионно-плазменного осаждения. Установлено влияние пластичной составляющей на твердость формируемой структуры
- Є складовою частиною документа:
Справочник. Инженерный журнал. [Текст] // Справочник. Инженерный журнал ; Выходит при содействии Международного Союза машиностроителей. - М. : Машиностроение. — 2004.
- Теми документа
