Анализируется использование методов микромеханики при проектировании и разработке микросистем различного назначения. Приводятся систематизированные данные о методах микромеханики. Рассматриваются особенности микромеханики как научной базы для микросистем, мехатроники и микроробототехники. Приводятся зарубежные примеры применения средств микромеханики и микророботов для решения прикладных и антитеррористических задач.