Основное достоинство наносекундных озонаторов - возможность работа при большой влажности воздуха без использования компрессоров, систем воздухоподготовки и дорогостоящих контактных камер. При этом удельные затраты электроэнергии на производство озона у них такие же, как и у обычных озонаторов. Электродная система наносекундных озонаторов может быть размещенна непосредственно в водовоздушной смеси.