Зведений каталог бібліотек Харкова
Шенгуров, В. Г. Нагреватель подложек в сверхвысоком вакууме [Текст] / В.Г. Шенгуров, С.П. Светлов, В.А. Толомасов, В.Ю. Чалков // Приборы и техника эксперимента : научный журнал / РАН. — С. 158-160.
- Анотація:
Описано устройство равномерного прогрева подложек для молекулярно-лучевой эпитаксии до температуры 1450 градусов Цельсия.
- Є складовою частиною документа:
Приборы и техника эксперимента [Текст] : научный журнал / РАН. — М.
- Теми документа