Наведено результати досліджень фототермоакустичного (ФТА) ефекту в іонолегованих структурах на основі Si. З'ясовано фактори, що впливають на процес ФТА-перетворення і відповідно на формування контрасту зображень в дослідженнях з ФТА-мікроскопії цих структур.