Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

Дульцев, Ф. Н.
    Структура и состав слоев нитрида кремния, полученных в планетарно-индукционном реакторе [Текст] / Ф.Н. Дульцев, В.В. Васильев, И.О. Парм, А.П. Соловьев // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 34-38.

- Анотація:

Разработан планетарно-индукционный реактор, позволяющий получать однородные пленки на подложках размером до 150 мм. Показано, что при соотношении потоков азота к силану, равном 3, и при небольших добавках кислорода получаемые слои не имеют механических напряжений и содержат мало водорода.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Кристалографія
  • УДК // Неорганічна хімія
  • УДК // Хімія. Кристалографія. Мінералогія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт