Зведений каталог бібліотек Харкова
Ивлев, Г. Д. Лазерно-индуцированные теплофизические процессы в гетероструктуре германий/кремний [Текст] / Г.Д. Ивлев, Е.И. Гацкевич // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 65-69.
- Анотація:
Методами оптического зондирования и растровой электронной микроскопии изучались эффекты воздействия наноимпульсного излучения ArF эксимерного лазера на гетероструктуру а-Ge/Si - аморфная пленка германия на кремнии.
- Є складовою частиною документа:
Известия высших учебных заведений. Приборостроение. [Текст] / МО РФ, СПб ГУИТМО. — СПб.
- Теми документа
