Рассмотрен оптико-электронный метод измерения профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света. Разработана промышленная система измерения дефектов поверхности. Приведены блок-схема и технические характеристики системы. Предложен метод оценки глубины профиля поверхности с использованием полизональной интерференции частично когерентного света.

Автометрия [Текст] : научно-технический журнал / РАН, Сиб. отд-ние; Ин-т автоматики и телеметрии. — Новосибирск : Изд-во СО РАН.

• УДК // Оптика