Рассмотрены методические приемы, позволяющие использовать Оже-сигналы малой интенсивности при анализе приповерхностных слоев материалов в наноэлектронике. Предполагаемые области применения - определение состава в заданной точке поверхности с высоким пространственным разрешением на современных сканирующих Оже-микроскопах.

Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2004.

• УДК // Атомна фізика
• УДК // Емісія випромінювання або частинок при розрядах