Зведений каталог бібліотек Харкова
Шахмаева, А. Р. Метод удаления кристаллитов с поверхности кремниевой пластины [Текст] / А.Р. Шахмаева, Б.А. Шангерева, Ш.Д. Алиев // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. / МО РФ, СПб ГУИТМО. — С. 63-65.
- Анотація:
Рассматриваются результаты удаления методом химического травления с поверхности полупроводниковых пластин кристаллитов, образованных после высокотемпературных окислительных и диффузионных процессах при изготовлении полупроводниковых приборов.
- Є складовою частиною документа:
Известия высших учебных заведений. Приборостроение. [Текст] / МО РФ, СПб ГУИТМО. — СПб.
- Теми документа
