Исследованы начальные стадии роста пленок висмута и его сплавов с сурьмой при напылении методом термического испарения (ТИ) и методом частино ионизированного потока (ЧИП). Проведен сравнительный анализ механизмов роста и эволюции островков в зависимости от температуры и типа подложки, скорости испарения, состава пленки.