Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Ильин, А. И.
    Зарождение и рост островковых пленок висмута и его сплавов с сурьмой. [Текст] / Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2004. — С. 44-47.


- Анотація:

Исследованы начальные стадии роста пленок висмута и его сплавов с сурьмой при напылении методом термического испарения (ТИ) и методом частино ионизированного потока (ЧИП). Проведен сравнительный анализ механизмов роста и эволюции островков в зависимости от температуры и типа подложки, скорости испарения, состава пленки.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Властивості молекулярних систем
  • УДК // Дослідження структури матеріалів. Металографія. Дослідження металоїдів (неметалів)
  • УДК // Металургія



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт