Представлены результаты исследования кинетики роста, электрических и оптических свойств и состава слоев оксида титана, полученных плазмо-химическим расположением паров тэтраэтоксититана с кислородом.Зависмости скорости осаждения от технологических параметров процесса объяснены на основе активации поверхностных процессов слоев ионной бомбардировкой.
