Рассмотрены вопросы методического обеспечения фазового анализа приповерхностных слоев материалов, тонких пленок, слоистых систем с границами раздела по Оже-спектрам при ионном профилировании. Рассмотрены методы представления данных в пространствах малой размерности , заданных первыми главными компонентами.
