|
Автор: Варнаков С.Н., Лепешев А.А., Овчинников С.Г., Паршин А.С., Коршунов М.М.
-
Анотація:
Описана автоматизация комплекса технологического оборудования для получения тонких пленок и многослойных структур полупроводниковых и магнитных метериалов в сверхвысоком вакууме. Разработаны программно-аппаратные блоки на базе п.э.в.м. для контроля сверхвысоковакуумной системы и автоматического управления испарителями. Комплекс оснащен аналитическим оборудованием для контроляпараметров получаемых структур методами дифракции отраженных быстрых электронов, лазерной эллипсометрии и электронной оже-спектроскопии.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Емісія випромінювання або частинок при розрядах
| 