Рассмотрены причины возникновения остаточных напряжений при обработке кремниевых структур с диэлектрической изоляцией. Проведен анализ влияния зернистости алмазного круга и концентрации алмазов в круге на силы резания. Предложена концепция построения автоматизированной системы управления станком алмазной шлифовки кремниевых структур.
