Предложен подход к оценке вероятности катастрофических отказов полупроводниковых приборов, подвергаемых воздействию мощных СВЧ-импульсов, при знании законов распределения случайных параметров, характеризующих стойкость данных приборов и мощное СВЧ-излучение.