Разработана методика расчета на прочность реактора установки эпитаксиального наращивания единичных пластин в условиях низкого давления. Показано, что арочная конструкция верхней и нижней стенок реактора исключает образование изгибающих моментов в сечении. Напряжения сжатия в стенке резко растут с увеличением радиуса кривизны.
