Проведен анализ современных оптических методов контроля шероховатости. Предложен универсальный метод и разработан прибор для бесконтактного контроля микрошероховатостей поверхностей. Преимущество метода - возможность производить контроль непосредственно в ходе технологического процесса.

Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.

• УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
• УДК // Оптика
• УДК // Принципи, методи, техніка вимірювання. Контрольно-вимірювальні прилади