Зведений каталог бібліотек Харкова
Неволин, В. Н. Моделирование импульсного лазерного осаждения тонких пленок в интенсивных электрических полях. [Текст] / Московский инженерно-физический институт (государственный университет) // Известия вузов. Электроника. — 2004. — С. 18-25.
- Анотація:
Разработана математическая модель разлета импульсной лазерной плазмы в вакууме под воздействием электрического поля, формируемого подключением высоковольтного импульса к подложке для осаждения тонких пленок.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.
- Теми документа
