Зведений каталог бібліотек Харкова
Соловей, В. В Процесс двухстороннего химико-механического полирования пластин кремния. [Текст] / Московский государственный институт электронной техники (технический университет) // Известия вузов. Электроника. — 2004. — С. 26-30.
- Анотація:
При разработке процесса двухстороннего химико-механического полирования пластин кремния использована система рециркуляции полировального состава и система термостабилизации.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Электроника. [Текст] // Известия вузов. Электроника ; Министерство образования РФ, Московский государственный институт электронной техники - М. : МИЭТ. — 2004.
- Теми документа
