| | Милешко, Л. П. Особенности распределения электрически активного фосфора в кремнии при диффузии из анодной оксидной пленки в условиях быстрой термической обработки. [Текст] / Таганрогский государственный радиотехнический университет, Россия // Известия вузов. Электроника. — 2004. — С. 90-92. |
| | |
|