Зведений каталог бібліотек Харкова
Меженный, М. В. Особенности гетерогенного зарождения дислокаций в термообработанных пластинах кремния при приложении внешних нагрузок. [Текст] / Институт химических проблем микроэлектроники // Известия вузов. Материалы электронной техники. — 2004. — С. 4-7.
- Анотація:
Исследованы особенности генерации дислокаций в термообработанных пластинах кремния от внутренних источников, формирующихся в процессе распада пересыщенного твердого кислорода , а также при приложении внешних нагрузок.
- Є складовою частиною документа:
Известия вузов. Материалы электронной техники. [Текст] // Известия вузов. Материалы электронной техники ; Министерство образования РФ - М. : МИС и С. — 2004.
- Теми документа
